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單晶硅是指硅的單晶體，具有基本完整的點陣結構。不同的方向具有不同的性質，是一種良好的半導材料。用于制造半導體器件、太陽能電池等。
太陽能電池行業要應用單晶硅，首先就要對其加工清洗，而超純水設備就是一種出水電阻率非常高，不含任何雜質，不導電的設備，符合單晶硅的清洗需求。
單晶硅清洗用超純水設備在設計上采用雙級反滲透與EDI及拋光混床相結合的制水工藝，具有水利用率高，運行可靠，經濟合理等特點。但是單晶硅清洗用超純水設備在長時間工作后，如果不定期進行維護，就很容易被污染，因此單晶硅清洗用超純水設備要這樣“呵護”，才能保證設備出水水質符合要求。
1、將清洗液進行混合。
2、用清洗泵低流量將清洗液以低流速、低壓力打至反滲透系統，并排走原水，防止清洗液稀釋。
3、保持設備溫度穩定，用清洗泵將清洗液在系統中循環。
4、清洗泵進行浸泡一小時即可，污染較嚴重的反滲透膜可進行更長時間的浸泡清洗。
5、用清洗泵大流量打入清洗液30—60分鐘，使反滲透膜上被洗掉的污染物隨高流速水沖走。
6、用清水將清洗液沖去。此外，用酸清洗時應測pH值，當pH值上升0.5以上時應增加酸量。
