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工業VOCs有機廢氣進入UV光氧催化設備內部被損壞、分化、催化氧化成無毒無害無味氣體。選用高能C波段紫外線光線照射工業VOCs有機廢氣，使工業VOCs有機廢氣發作裂解和分化，改動物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。紫外線照射下發生的臭氧是一種強氧化劑能進一步將未反響的廢氣進一步進行氧化，同時紫外線光具有滅菌和消毒的效果。氧催化設備內部都安設了二氧化鈦催化板，催化板具有加強廢氣處理的效果和功率。