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真空脫氣機是通過水泵抽吸作用產生的真空，將水中的游離氣體和溶解氣體釋放出來，再通過自動排氣閥排出系統，脫氣后的水再注入系統。這些低含氣量的水是不飽和水，對氣體具有高度的吸收性，它將吸收系統中的氣體從而達到氣水平衡。真空脫氣機每 20~30 秒重復一次這樣的循環。如此循環往復，將系統中的所有氣體脫除。
真空脫氣機組脫氣過程可分為兩個階段：
    1）進水階段：系統中的液體進入脫氣罐，液體中含有的所有氣體都會被釋出，并通過脫氣罐頂部的自動放氣閥與系統分離。
    2） 抽真空階段：脫氣泵會對罐內持續抽真空，制造負壓狀態，使液體中溶解態氣體全部釋出，聚集在罐的頂部并通過自動放氣閥排出。此時進水電磁閥再次打開，新的液體進入罐內。那些經脫氣處理過的、有吸收性的液體被重新注回系統中參與循環，并重新吸收系統中的氣體。