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工業廢氣種類繁多，因此，針對相應的工業廢氣，采用科學創新技術進行技術組合，可以更好、更有效地去除污染物。例如，低溫等離子體技術與紫外線光解凈化、輪濃縮和高溫等離子體焚燒技術的結合。
光氧凈化器技術特點
（1）低溫反應：
光催化氧化可在常溫下將空氣、水和土壤中有機污染物 氧化成 無害的物質。而傳統的高溫焚燒技術則需要在 的溫度下才可將污染物摧毀，即使用常規的催化氧化方法亦需要幾百度的高溫。
（2）凈化 ：
它直接將空氣中的有機污染物， 氧化成 無害的物質，不留任何二次污染，目前廣泛采用的活性炭吸附法不分解污染物，只是將污染源轉移。
（3）綠色能源：
光催化可利用太陽光作為能源來活化光催化劑，驅動氧化—還原反應，而且光催化劑在反應過程中并不消耗。從能源角度而言，這一特征使光催化技術 具魅力。
（4）氧化性強：
大量研究表明，半導體光催化具有氧化性強的特點，對臭氧難以氧化的某些有機物如四氯化炭、六氯苯、都能地加以分解，所以對難以降解的有機物具有特別意義，
（5）廣譜性：
光催化對從烴到羧酸的種類眾多有機物都， 環保署公布的九大類114種污染物均被證實可通過光催化得到治理，即使對原子有機物如鹵代烴、染料、含氮有機物、有機磷殺蟲劑也有 的去除效果，一般經過持續反應可達到 凈化。
（6）壽命長：
理論上，催化劑的壽命是 長的。
