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傳統式吸干機只能降壓由8bar到1bar，降壓比為7倍。真空式吸干機則能降壓到真空壓力，降壓比可高于7倍。由一組裝置于空氣出口之真空泵所提供之能量相當于加熱并冷卻吸附劑所產生之能量，然而卻無因加熱并冷卻所造成功耗(相當于加熱式吸干機功能的50%左右)。本系列皆配備可切換至無熱式之備用系統，以便真空泵須維護時不致中斷干燥氣源供應。
·工作壓力：≤1.0MPa(@0.7MPa)
·入口溫度：≤45℃(@38℃)
·環境溫度：-40~85℃
·循環周期：4min~10min
·再生氣耗量：≤3%
·額定壓降：≤0.021MPa
·露點溫度：-40℃~-20℃
·電源：3Φ/380V/50Hz
·功耗：3.7KW(12m3/min.)~31KW(140m3/min.)
