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激光所用氣體包括激光器工作和保護(hù)氣體以及切割輔助氣體。
激光器工作氣體用于產(chǎn)生激光，保護(hù)氣體用于保護(hù)光學(xué)器件、驅(qū)動(dòng)光閘。激光器工作氣體由氦氣、氮?dú)狻⒍趸細(xì)怏w按照一定比例混合，這個(gè)比例在工廠預(yù)定好，確保較佳狀態(tài)，不要隨便調(diào)整，比例不當(dāng)，可能會(huì)造成激光系統(tǒng)的失效和高壓電源的損害。激光器所用氣體均為高純度，均在99.99%以上.
切割輔助氣體主要是N2或O2，有的材料切割可以使用壓縮空氣作為切割輔助氣體。N2切割的切割面比較光亮；O2切割的切割面由于材料被氧化而發(fā)黑。切割輔助氣體的純度越高，切割面的質(zhì)量越好。
