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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 雷尼紹 | ||
| 規(guī)格 | 超高真空 | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 特點 | 非接觸開放式光學系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 型號 | UHV | ||
超高真空 (UHV) 光柵
特性：
? 由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低
? 殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗證不會污染真空環(huán)境
? 120 °C烘焙溫度
? 非接觸開放式光學系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零
? 無氣密孔
? 高精度直線光柵和圓光柵系列
對于許多工業(yè)加工過程而言，如果環(huán)境中存在大量的空氣或其他氣體，則會對成品的質(zhì)量造成損害，因此加工過程必須在一個殘余壓力水平極低的真空環(huán)境內(nèi)進行。如果這些加工過程涉及運動控制，則必須用到真空兼容型光柵系統(tǒng)。
雷尼紹超高真空 (UHV) 兼容光柵系列中的所有產(chǎn)品都經(jīng)過專門設計，用于各種科研、半導體和其他高級工業(yè)應用場合，真空壓力達10-10 Torr。其基本工作原理與我們的同類標準大氣壓下的產(chǎn)品相同，但是UHV光柵在設計上消除了氣密孔，并且由潔凈的真空兼容材料和粘合劑特制而成。產(chǎn)品在UHV環(huán)境下的適用性已獲得獨立的專業(yè)檢驗機構鑒定，包括殘留氣體分析 (RGA) 光譜測試（可應要求提供）。
RESOLUTE?光柵系列
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RESOLUTE系列是一款真正意義的絕對式、精細柵距光柵系統(tǒng)。它具有極強的抗污能力，其超凡的技術指標更是位置反饋領域的一大新突破。它是世界上第一款能夠在100 m/s的速度下實現(xiàn)1 nm分辨率（直線光柵系統(tǒng)），在36,000轉(zhuǎn)/分的速度下實現(xiàn)32位分辨率（圓光柵系統(tǒng)）的絕對式光柵。超低電子細分誤差 (SDE) 和抖動使該直線光柵系統(tǒng)從同類光柵中脫穎而出。
此外，其還具有三個特定應用型號：
? RESOLUTE UHV（超高真空）為低至10-10 Torr的超高真空應用提供絕對式光柵技術，幫助客戶提高生產(chǎn)效率，降低損壞風險，并增強可靠性。
? RESOLUTE ETR（寬溫度范圍）是一款真正意義的絕對式、精細柵距光柵系統(tǒng)，可以在溫度極高和極低的環(huán)境下工作。
? RESOLUTE FS（功能安全）已獲得SIL2和PLd認證，可用于功能安全應用。
RESOLUTE可配用選裝的高級診斷工具ADTa-100和ADT View軟件：可提供實時光柵數(shù)據(jù)反饋，輔助光柵安裝和現(xiàn)場查錯。
TONiC?光柵系列
TONiC系列是雷尼紹推出的超小型非接觸式增量式光柵系統(tǒng)，速度可達10 m/s，與Ti接口配套使用時，在線性和旋轉(zhuǎn)應用中分辨率達1 nm。由于安裝公差寬松，并且只需按下按鈕即可進行校準，因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡單。TONiC光柵的動態(tài)信號處理功能可提高信號穩(wěn)定性，而且電子細分誤差超低，通常小于±30 nm，從而有助于實現(xiàn)卓越的運動控制性能。
此外，其還具有兩個特定應用型號：
TONiC UHV將增量式光柵技術引入低至10-10 Torr的超高真空應用中，這類應用要求在緊湊的外形中保持高性能。
TONiC FS（功能安全）已獲得SIL2和PLd認證，可用于功能安全應用。
