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等離子去光阻機

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產(chǎn)品價格：￥0（人民幣）

規(guī)格： 650(W)×900(D)×1600(H)mm

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商品詳情

采用電感耦合高密度等離子體(ICP)，能快速去除晶圓上之殘留光阻，達到晶圓表面潔凈，具有蝕刻率高，無電極污染，離子能量低，不損傷基板等優(yōu)點。

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