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HMDS預處理真空烘箱
HMDS預處理真空烘箱
產品價格:(人民幣)
  • 規格:HMDS-90
  • 發貨地:本地至全國
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1臺
  • 免費會員
    會員級別:試用會員
    認證類型:企業認證
    企業證件:通過認證

    商鋪名稱:蘇州伊諾華科工業設備有限公司

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    商品詳情
      HMDS烘箱,晶圓涂膜HMDS真空烘箱系列電腦式HMDS真空烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預處理,增黏劑HMDS涂覆作業。本設備適用于在涂膠前對晶片進行預處理,集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統組成。通過多次預抽真空,充氮加熱循環進行,既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠防止硅片的氧化和雜質的擴散,并且可以通過加液系統在硅片表面開成HDMS保護膜,從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比,具有重復性好,節省藥液,環保,對人體無害的顯著優點;也可用于晶片其它工藝的清洗。
      設備型號 HMDS-90
      溫度范圍 RT+25~200°C
      溫度分辨率 ±0.1°C
      極限真空度 <10pa
      抽氣速率 4L/S  常壓~100pa時間<5min
      氧含量

      <10ppm

      潔凈度 class10
      控制方式 PLC+觸摸屏(人機交互界面)
      內腔尺寸 W450mm*D450mm*H450mm
      氮氣流量 0-100L/min
      電源功耗 AC220V    50HZ     4.5KW
      箱體 3mm優質SUS316#潔凈不銹鋼內膽
      外殼 SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆
      保溫材料 環保無油型陶瓷纖維防火阻燃材料
      安全保護措施 1.接地保護     2.過載保護      3.超溫保護
    在線詢盤/留言
  • 0571-87774297  
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