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目前,在機械工業(yè)研究領域,尤其是精密超精密研究領域,精密測量方法與儀器已成為科學研究中的最重要手段,例如研究鏡面磨削工藝參數(shù)對加上誤差的影響,研究精密表面的瘴擦磨損,特別是在要求晶格無畸變的硅片的超精密研磨中,平面度的測量要求達到5M.粗糙度測量要求達到o.1nm。如沒有高精度測量儀器,是不可能實現(xiàn)的。在電子、計算機、航空等工業(yè)部門,精密測量技術也被提到從未有過的高度。
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