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目前，在機械工業研究領域，尤其是精密超精密研究領域，精密測量方法與儀器已成為科學研究中的最重要手段，例如研究鏡面磨削工藝參數對加上誤差的影響，研究精密表面的瘴擦磨損，特別是在要求晶格無畸變的硅片的超精密研磨中，平面度的測量要求達到5M．粗糙度測量要求達到o．1nm。如沒有高精度測量儀器，是不可能實現的。在電子、計算機、航空等工業部門，精密測量技術也被提到從未有過的高度。
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