最新研發(fā)藍(lán)寶石外延片研磨拋光機(jī)，具備研磨拋光兩個(gè)功能，能達(dá)到鏡面效果，適合不同大小尺寸的藍(lán)寶石襯底和外延片的研磨拋光。藍(lán)寶石外延片拋光機(jī)|藍(lán)寶石外延片研磨機(jī)是我司獨(dú)家研發(fā)生產(chǎn)，具備先進(jìn)的技術(shù)指標(biāo)和參數(shù)，是國(guó)內(nèi)數(shù)一數(shù)二的藍(lán)寶石外延片研磨拋光機(jī)。
歡迎試樣：0755-26527403
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工作原理：本研磨機(jī)為精密研磨拋光設(shè)備，被磨、拋材料放于研磨盤上，研磨盤逆時(shí)鐘轉(zhuǎn)動(dòng)，修正輪帶動(dòng)工件自轉(zhuǎn)，重力加壓的方式對(duì)工件施壓，工件與研磨盤作相對(duì)運(yùn)轉(zhuǎn)磨擦，來(lái)達(dá)到研磨拋光目的。
特 點(diǎn)：
1．采用間隔式自動(dòng)噴液裝置，可自由設(shè)定噴液間隔時(shí)間。
2．系列研磨機(jī)工件加壓采用氣缸加4的方式，壓力可調(diào)； 拋光后工件表面光亮度高、無(wú)劃傷、無(wú)料紋、無(wú)麻點(diǎn)、不塌邊、平面度高等特點(diǎn)。拋光后工件表面粗糙度可達(dá)到Ra0.0002；平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
3.可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會(huì)破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。減薄效率高，LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um。硅片每分鐘可減薄250um。
型 號(hào) YM-15TX YM-18TX YM-20TX YM-24LX
研磨盤規(guī)格 φ380×φ140×12t φ460×φ140×12t φ510×φ160×12t φ610×φ180×12t
最大工件尺寸 φ130mm φ170mm φ190mm φ240mm
陶瓷修正輪規(guī)格 φ178mm×φ140mm3個(gè) φ220mm×φ180mm3個(gè)φ240mm×φ200mm3個(gè) φ280mm×φ240mm3個(gè)
研磨盤轉(zhuǎn)速 0~110rpm 0~110rpm 0~110rpm 0~110rpm
定時(shí)范圍 99分59秒 99分59秒 99分59秒 99分59秒
主電機(jī)功率 1.5KW. 380V 3相 1.5KW. 380V3相 2.2KW. 380V 3相 3.7KW. 380V 3相
外形尺寸 750×850×1550 800×900×1550 950×1100×1600 1050×1200×1700
重 量： 650kg 800kg 950kg 1200kg
本藍(lán)寶石外延片研磨拋光機(jī)屬于通用型設(shè)備，不僅正對(duì)藍(lán)寶石襯底，外延片，硅片等晶體還對(duì)金屬工件有著同樣的研磨拋光效果。
