最新研發藍寶石外延片研磨拋光機，具備研磨拋光兩個功能，能達到鏡面效果，適合不同大小尺寸的藍寶石襯底和外延片的研磨拋光。藍寶石外延片拋光機|藍寶石外延片研磨機是我司獨家研發生產，具備先進的技術指標和參數，是國內數一數二的藍寶石外延片研磨拋光機。
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工作原理：本研磨機為精密研磨拋光設備，被磨、拋材料放于研磨盤上，研磨盤逆時鐘轉動，修正輪帶動工件自轉，重力加壓的方式對工件施壓，工件與研磨盤作相對運轉磨擦，來達到研磨拋光目的。
特 點：
1．采用間隔式自動噴液裝置，可自由設定噴液間隔時間。
2．系列研磨機工件加壓采用氣缸加4的方式，壓力可調； 拋光后工件表面光亮度高、無劃傷、無料紋、無麻點、不塌邊、平面度高等特點。拋光后工件表面粗糙度可達到Ra0.0002；平面度可控制在±0.002mm范圍內。
3.可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內。減薄效率高，LED藍寶石襯底每分鐘可減薄48um。硅片每分鐘可減薄250um。
型 號 YM-15TX YM-18TX YM-20TX YM-24LX
研磨盤規格 φ380×φ140×12t φ460×φ140×12t φ510×φ160×12t φ610×φ180×12t
最大工件尺寸 φ130mm φ170mm φ190mm φ240mm
陶瓷修正輪規格 φ178mm×φ140mm3個 φ220mm×φ180mm3個φ240mm×φ200mm3個 φ280mm×φ240mm3個
研磨盤轉速 0~110rpm 0~110rpm 0~110rpm 0~110rpm
定時范圍 99分59秒 99分59秒 99分59秒 99分59秒
主電機功率 1.5KW. 380V 3相 1.5KW. 380V3相 2.2KW. 380V 3相 3.7KW. 380V 3相
外形尺寸 750×850×1550 800×900×1550 950×1100×1600 1050×1200×1700
重 量： 650kg 800kg 950kg 1200kg
本藍寶石外延片研磨拋光機屬于通用型設備，不僅正對藍寶石襯底，外延片，硅片等晶體還對金屬工件有著同樣的研磨拋光效果。
