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上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 射頻離子源 RFICP 40, 離子束可選聚焦/ 平行/ 散射.

KRI 射頻離子源 RFICP 40 屬于大面積射頻離子源, 離子束流: >100 mA; 離子動能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量 (Typical flow): 3-10 sccm.

采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長.

離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝.

適用于集成在小型的真空腔體內(nèi).

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 40 特性:

1. 離子源放電腔 Discharge Chamber, 無需電離燈絲, 通過射頻技術(shù)提供高密度離子, 工藝時(shí)間更長.

2. 離子源結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì), 使用更簡單; 基座可調(diào)節(jié), 有效優(yōu)化蝕刻率和均勻性.

3. 提供聚焦, 發(fā)散, 平行的離子束

4. 離子源自動調(diào)節(jié)技術(shù)保障柵極的使用壽命和可重復(fù)的工藝運(yùn)行

5. 柵極材質(zhì)鉬和石墨,堅(jiān)固耐用

6. 離子源中和器 Neutralizer, 測量和控制電子發(fā)射,確保電荷中性

KRI 射頻離子源 RFICP 40 技術(shù)參數(shù):

離子源型號	RFICP 40
Discharge	RFICP 射頻
離子束流	>100 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	4 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	3-10 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	12.7 cm
直徑	13.5 cm
中和器	LFN 2000

* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量

伯東KRI 射頻離子源 RFICP 40 應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 預(yù)清洗

2. 表面改性

3. 輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD,

4. 濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC

5. 離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD

6. 離子蝕刻 IBE

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