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電液16進液壓缸是數(shù)字缸的一種。它通過步進電機接收數(shù)字控制電路發(fā)出的脈沖序列信號，進行信號的轉(zhuǎn)移和功率放大，，輸出與脈沖數(shù)成比例的直線位移或速度。
圖3-22所示為日本東京計器公司的

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齒輪泵電液步進液壓缸工作原理，它由步進電    活塞機和液壓力放大器兩大部分組成。為選擇速比和增大傳動轉(zhuǎn)矩，兩者之間加設(shè)了減速齒輪箱。其基本特點是采用機械剛性反饋，螺母螺桿既作為閥芯推動元又作為反饋元件。
活塞的桿側(cè)（左端）有效面積為頭側(cè)（右側(cè)）的1/2，始終向桿側(cè)供人壓力為p。的壓力油。頭{頭側(cè)的壓力由旋轉(zhuǎn)三通閥控制于o一夕，

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�；钊麠U靜止時，頭側(cè)壓力為夕。／2（因左右力平衡，而面積為2倍關(guān)系）。如果步進電機根據(jù)控制器的指令沿從頭側(cè)觀察為順時針方向旋轉(zhuǎn)，則固定于活塞上的螺母與連接著閥芯成一體的螺桿之間的相互作用，使閥芯右移，B口經(jīng)三通閥與壓力源p。相通，頭側(cè)壓力高于p，/2，

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于是活塞向左運動，直到閥芯恢復(fù)到原始平衡位置為止。步進電機逆時針旋轉(zhuǎn)時，動作相反，B臼通油箱，活塞向右運動，平衡活塞用來防止活塞桿內(nèi)腔的壓力將螺桿向右推，平衡活塞右側(cè)引入B口壓力，平衡活塞左鋤秒油腔通過內(nèi)部管道通回油箱。
這種電液步進液壓缸已用于日本產(chǎn)的數(shù)控機床、木工機械、制鐵機械以及各種自動化機L械備上。