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一、分類：
      1、 分子泵具體可分為： 　　1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。 　　2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。 　　3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合型的分子真空泵。

      2、渦輪分子泵：

       利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器和高級電子器件制造等方面。

二、性能和特點　　
      泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數和轉速有關外，還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮（或空氣）的壓縮比為108～109；對氫為102～104；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。泵的極限壓力為10-9帕，工作壓力范圍為10-1～10-8帕，抽氣速率為幾十到幾千升每秒（1升=10-3米3）。渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)（氣體分子的平均自由程遠大于導管截面最大尺寸的流態(tài)）下工作才能顯示出它的優(yōu)越性,因此要求配有工作壓力為1～10-2帕的前級真空泵。分子泵本身由轉速為10000～60000轉/分的中頻電動機直聯(lián)驅動。