產(chǎn)品用途
? ? ? ? 適用于 2寸～6寸硅片去膠清洗
整機構造
骨架：進口10mmPP板，優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐；
外殼：進口10mmPP板；
安全門：采用透明上下推拉門；
管路：管路位于下后部，以節(jié)省空間，采用英制接口；
滅火系統(tǒng)：煙熱感應CO2自動滅火系統(tǒng)位于工作臺面上部；
排風：根據(jù)流體學原理設計位于機臺后上部，并配有導流和風量調(diào)節(jié)裝置；
工作照明：機臺上方配照明（與工作區(qū)隔離）；
臺面板為優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)（帶有漏液孔）；
DI/N2 GUN：可伸縮的DI水管和氣管各2把，分置于工作區(qū)兩側(cè)；
人機界面：Touch Screen彩色界面；
支腳：有滑輪裝置和固定裝置，可調(diào)整高度和鎖定；
三色提示燈和蜂鳴器
控制系統(tǒng)
PLC可程式控制器（歐姆龍）＋Touch Screen彩色人機界面操作。
制程參數(shù)皆采用可設定、修改；
操作模式可分為自動/手動/編輯/維修。
配有獨立配電箱，電路區(qū)進行功能分塊，強電、弱電塊，以便于維護；
具Password功能以避免操作人員誤改參數(shù)：
Password-1.啟動及可進入自動模式內(nèi)容。
Password-2可進入編輯模式修改制程參數(shù)。
Password-3可進入手動模式。
