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ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀是法國ALCATEL-ADIXEN公司最新推出的用來檢測電子元器件的多功能氦質(zhì)譜檢漏儀器。?
??? 氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。?此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。??
二 系統(tǒng)配置:??
ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀主要包括以下器件:?
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序號? |
設(shè)備名稱 |
??序列號 |
數(shù)量 |
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1 |
ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀主機（包括一臺機械泵、一臺分子泵、一個質(zhì)譜室、信號放大器等儀器必須的部件。） |
T0R00000B810 |
一套 |
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2? |
ALCATEL 200號油（1升/桶） |
068694 |
1桶 |
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3 |
燈絲? FILAMENT |
?053146 |
1備1用 |
三 技術(shù)規(guī)格:?
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? |
靈敏度： |
5.0×10-12mbar.l/s |
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? |
漏率顯示范圍： |
5?×10-12 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He) |
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? |
達到檢漏的時間（空盒時）： |
小于30秒 |
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? |
發(fā)射電流顯示： |
0.2—2mA |
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? |
檢漏口對氦氣的抽速： |
1.3升/秒 |
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? |
啟動時間： |
小于3分鐘 |
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? |
接口尺寸: |
DN 25 KF |
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? |
外觀尺寸： |
510′343′428mm |
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重量： |
56Kg |
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電源： |
220V 50Hz 單相 |
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? |
符合美國真空標準AVS2.1 以及國際標準ISO3530的標準。內(nèi)置式標準漏孔，帶自動溫度補償系統(tǒng)。開機3分鐘后完成全部準備工作。數(shù)顯工作界面；數(shù)字顯示漏率，帶音頻報警。所有工作參數(shù)可以通過菜單設(shè)定和修改。可以設(shè)置報廢點。質(zhì)譜室自動保護：有效防止大氣突然沖入對燈絲及質(zhì)譜室的損害。 |
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