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EE-SA801 按鈕型微型光電傳感器 通過采用按鈕型，可以確切檢測以往難 以檢測的物體 ■根據半導體FOUP盒的規格，不受底面材料、顏色、反射 率的影響，確切檢測FOUP盒的落座。 ■薄型設計，可以裝備在搬送臂等上。 ■4方向指示燈，提高視覺識別性。 ■采用光學方法檢測驅動器的動作，壽命較長。 (機械性壽命500萬次以上) |
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EE-SPY801/802 晶圓片托架落座傳感器 薄片載體的落座檢測 ■依靠與導槽并用，設定落座位置。 ■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學性能優越。 ■在獨特的光學結構，幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。 ■采用強抗外部干擾光的變調光方式。 ■電線使用凈化電線(無粉塵)。 |
