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氦氣的純度劃分:
氦氣純度
工業氦
項目名稱指標
氦氣純度:≥99%
氖(氫)、氧(氬)、氮、甲烷總含量,%≤1
水分含量,露點,≤-43℃
純氦
項目名稱指標
優等品一等品合格品
氦氣純度,%≥99.99599.99399.99
氖含量,ppm≤152540
氫含量,ppm≤357
氧(氬)含量,ppm≤355
氮含量,ppm≤101725
一氧化碳,ppm≤111
二氧化碳,ppm≤111
甲烷量,ppm≤111
水分含量,ppm≤101520
高純氦氣
氦氣純度>99.999%,
雜質含量(ppm):
O2≤0.5,
N2≤1.0,
CO≤0.5,
CO2≤0.5,
CH4≤0.5,
H2O≤0.5,
Ne≤8.0;
超純氦氣
氦氣純度>99.9999%,
雜質含量(ppm):
N2≤0.5,
O2≤0.5,
Ne≤0.5,
CO≤0.1,
CO2≤0.1,
THC≤0.1,
H2O≤0.2;