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超薄晶圓激光切割微流控設(shè)備——CO?激光雕刻切割機(jī)微流控精密制造新紀(jì)元
超薄晶圓激光切割微流控設(shè)備——CO?激光雕刻切割機(jī)微流控精密制造新紀(jì)元
產(chǎn)品價格:(人民幣)
  • 規(guī)格:完善
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    商品詳情
      超薄晶圓激光切割微流控設(shè)備——CO?激光雕刻切割機(jī)微流控精密制造新紀(jì)元

      微流控芯片的精密化與微型化趨勢,對超薄晶圓(<100μm)加工提出了近乎苛刻的要求——傳統(tǒng)工藝因熱損傷、崩邊及污染風(fēng)險,難以滿足高集成度、高生物相容性的需求。超薄晶圓激光切割微流控設(shè)備(CO?激光雕刻切割機(jī))以“零接觸、零熱損”為核心,專為微流控行業(yè)研發(fā),實(shí)現(xiàn)超薄晶圓與高分子材料的亞微米級精密加工,為生命科學(xué)、精準(zhǔn)醫(yī)療及體外診斷領(lǐng)域提供全流程智造方案。

      技術(shù)突破:超薄晶圓加工的革命性升級
      零熱損切割技術(shù)
      采用高功率CO?激光器與動態(tài)熱控算法,切割過程無熱擴(kuò)散,切割線寬小,支持50-200μm超薄晶圓的無損加工,適配微流控芯片的高密度集成需求。

      多材料全流程兼容
      兼容PDMS、PMMA、玻璃基材及生物降解薄膜,單臺設(shè)備完成切割、打孔、微雕刻及封裝鍵合輔助工藝,無縫對接EVG晶圓鍵合系統(tǒng),確保芯片封裝的精度與氣密性。

      AI驅(qū)動智能工藝庫
      內(nèi)置200+微流控芯片模板(如液滴生成、類器官培養(yǎng)),支持AutoCAD直接輸出,AI算法實(shí)時優(yōu)化切割路徑,復(fù)雜圖形加工效率提升40%,良品率≥99.5%。

      生物級潔凈保障
      非接觸式加工結(jié)合雙級HEPA過濾系統(tǒng),切割邊緣粗低,滿足芯片類、活細(xì)胞實(shí)驗(yàn)等高敏感場景需求。

      以激光之刃,雕琢生命科學(xué)未來!
      無論是攻克超薄芯片的科研壁壘,還是布局微流控產(chǎn)業(yè)化藍(lán)圖,超薄晶圓激光切割微流控設(shè)備以“零損傷×高集成×智能化”的硬核實(shí)力,成為行業(yè)創(chuàng)新的核心引擎。
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