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有的線性導軌是考慮誤差吸收方法進行設計的。要安裝在難以加工和獲得精度的平面部位時,可以選擇鋼珠的接觸構造為DF(正面組合)構造的產品構成容易吸收誤差的結構。
因為“自動調整”好的DF構造的線性導軌將安裝面的傾斜經由導軌本身進行吸收,所以組裝在滑塊上的工作臺不易變形。
要進一步提高線性導軌的“自動調整功能”,需要提高工作臺的剛性。工作臺的剛性是提高使用線性導軌的裝置的精度的重要因素。
基于鋼珠的赫茲理論的分析結果為1/4.4,這是理論上將導軌、滑塊、安裝螺母等作為剛體看待得出的近似結果。考慮到這一點,實際應當比1/4.4小。將給定的校直誤差量與工作臺的實際變位置量的比稱為精度平均化系數,而經實驗,該系數為1/7.1。我們認為1/7.1的試驗結果有相當的可靠性。
因此,線性導軌具有將安裝導軌的基礎加工及組裝時產生的垂直度、平面度、平行度等校直誤差平均化后進行吸收的特點。
巧妙地利用這一功能特性可以制造高精度的工作臺,使用一般工業用的線性導軌也能獲得0.6μm/110mm的上下精度(垂直度),可以應用于精度要求嚴格的半導體制造裝置