Renishaw雷尼紹XL-80激光干涉儀
校準是過程控制的基礎
現代工業需要滿足日益嚴格的公差、客戶計劃以及國際質量標準的要求。與此同時,還要承受降低成本的壓力,因此生產設備的工作性能受到的重視。測量和校準設備可提供幫助。
給設備制造商帶來的好處:
·在制造過程中對機器進行測試和診斷;
·建造精度更高的機器;
·改進機器設計;
·減少機器制造周期時間;
·提供專業的維護服務;
·證明符合規范。
給設備用戶帶來的好處:
·符合ISO 9000系列標準;
·對機器性能進行分級,為每一項作業選擇更佳機器;
·通過監測磨損情況,計劃并更大限度減少機器停機時間;
·從競爭對手那里贏得高精度加工合同;
·提高產量;
·通過識別自身的誤差來源延長機器使用壽命。
移動速度:4m/s
激光穩頻精度:±0.05 ppm
測量精度:±0.5 ppm
測量長度范圍:0-80m
分辨率:0.001um。
軸向量程0-15m
角度精度:±0.002A ±0.5 ±0.1M微弧度
角度精度(已校準):±0.0002A ±0.5 ±0.1M微弧度
分辨率:0.1 μm/m
軸向量程 :(短距離)0.1 m - 4.0 m
(長距離)1 m - 30 m
直線度測量范圍:±2.5 mm
激光干涉測量可提供更精確和可重復的校準方法
激光干涉測量
使用光的波長作為測量單位的基本原理在19世紀80年代左右開始提出。從
那以后起,這一原理雖然歷經發展和完善,但始終以測量光波干涉為依據,因此
得名“干涉測量”。
激光系統射出的光波具有三種主要特性:
·已知精確波長,可實現準確測量;
·波長非常短,可實現精確或高分辨率測量;
·所有光波相位相同,可根據已知的基準進行測量。
干涉測量是一種相對運動測量(從初始位置開始測量),而不是一種絕隊測量(從特定位置開始測量)。不同的光學鏡組將激光光束穿過不同的路徑,可從單個激光裝置進行多種模式測量(例如,線性、角度、直線度)。
環境補償
無論您的激光裝置多么準確和穩定,激光的測量波長都會因其傳播環境而改變。氣溫、氣壓和相對濕度的任何變化都將導致測量誤差。
若沒有可靠準確的波長補償,即使在典型的環境條件下,也常常會出現20ppm(百萬分之一)的線性測量誤差。通過應用精確的環境補償,可將這些誤差降至±0.5ppm。
XL-80激光系統簡介
·計算機軟件 — 簡單易用但功能強大的軟件。
·標準連接 — 通過USB連接XL-80和XC-80。
·可信度 — XL系統的所有測量模式(不僅僅是線性測量)均采用激光干涉原理,因此您可以充分信賴所有的測量精度。
·無線光學鏡組 — 在整個軸行程上進行測量時可免受電纜拖拽的影響
·激光穩頻精度 — 通過熱控制技術將激光管長度變化控制在幾納米范圍內,達到3年內精度保持在±0.05 ppm(百萬分之一)。
·方便準直調整 — 輕巧的光學鏡組和快速的夾具解決方案。獲得的光學鏡組提供非重疊輸出并返回激光束以簡化準直調整。
·可溯源的測量 — 干涉測量直接受益于激光波長的可溯源性。雷尼紹的校準結果可溯源至國際度量衡委員會 (CIPM) 相互承認協議 (MRA)的簽約者,CIPM MRA為全球提供了統一的測量標準。
·靈活 — 適用于數字方波信號輸出(出廠設定選項)和外觸發信號輸入的連接。
·熱穩定性 — 激光熱源遠離測量光學鏡組。陽極氧化鋁殼光學鏡組比鋼制光學鏡組對環境適應速度快10倍,而且輕巧耐用。
·易于安裝 — 信號強度LED指示燈和激光校準特性簡化安裝和加快使用。
·便攜 — 憑借小巧輕便的設計,整個系統可用非常容易攜帶的“輪式便攜箱”進行運輸,一套線性系統加箱子僅重12kg。
·精確 — 在0 °C - 40 °C (32 °F- 104 °F) 溫度范圍內保持完全測量精度。
·即裝即用 — XC-80還配備外接空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器。該系統附帶供電電源、一本綜合使用手冊和所有的電纜。