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真空電機位移臺

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• LTVL/lTVH/LTXL/LTXH系列-真空高低溫耐輻射步進電機運動平臺（可以定制）

• 行程： 50 to 250mm；

• 分別率：1um/步；

• 無回滯，剛性強；

• 承載能力：20kg；

• 可直接堆疊 XYZ三軸平臺

• 真空度：1 x 10-10 mBar；

• 烘烤溫度：200°C；

• 交叉滾子軸承；

• 防輻射： 1 x 106 Gy ；

• 可以根據客戶要求定制，也可以定制固體潤滑的方式；

• 規格	單位	LTVL	LTVH
  行程	mm	50/ 100 / 150 /200 /250	50/ 100 / 150 /200 /250
  整步分別率	μm	5	1
  最大速度	mm/s	15	4
  推薦真空環境中速度	mm/s	2	0.8
  重復定位精度	μm	1	0.2
  水平負載能力	kg	20	20
  負載力矩	Nm	<5	<5
  軸向力 @ 500Hz Iφ = 1A	kg	3	10
  間隙	μm	0	0
  轉動, 俯仰 & 偏載 (無負載	μrad	<25	<25
  Roll Compliance	μrad/Nm	33	33
  Pitch & Yaw Compliance	μrad/Nm	33	33
  直線度	μm	<1.3μm / 100mm	<1.3μm / 100mm
  使用步進電機		D35.1	D35.1
  真空度	mBar	1 x 10-10	1 x 10-10
  最大恩度	°C	200	200
  MTBF (5kg負載和30%占空比)	hrs	15,000	10,000

• 行程：25 to 85mm；

• 分別率：1um/步；

• 無回滯，剛性強；

• 承載能力：50kg；

• 可堆疊為X Y Z三軸；

• 真空度： 1 x 10-10 mBar；

• 烘烤溫度： 200°C；

• 交叉滾子軸承

• 防輻射： 1 x 10~6 Gy；

• 可根據客戶要求定制；

• 規格	單位	LTXL	LTXH
  行程	mm	25 / 55 / 85	25 / 55 / 85
  整步分別率	μm	5	1
  最大速度	mm/s	15	4
  推薦真空環境中速度	mm/s	2	0.8
  重復定位精度	μm	1	0.2
  水平負載能力	kg	50	50
  負載力矩	Nm	<20	<20
  軸向力 @ 500Hz Iφ = 1A	kg	3	10
  間隙	μm	0	0
  轉動, 俯仰 & 偏載 (無負載)	μrad	<25	<25
  Roll Compliance	μrad/Nm	5	5
  Pitch & Yaw Compliance	μrad/Nm	2	2
  直線度	μm	<1.3μm / 100mm	<1.3μm / 100mm
  使用電機		D35.1	D35.1
  真空度	mBar	1 x 10-10	1 x 10-10
  最大溫度	°C	200	200
  MTBF (5kg 負載和30% 占空比)	hrs	15,000	10,000