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青島福潤德微電子設(shè)備有限公司是一家集控制技術(shù)、真空技術(shù)、熱工技術(shù)為一體的高新技術(shù)企業(yè)。目前的主要產(chǎn)品有兩大類（一）半導(dǎo)體專用設(shè)備：太陽能擴(kuò)散爐、程控高低溫擴(kuò)散爐、微控高低溫擴(kuò)散爐、低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備，真空燒結(jié)爐、氫氣爐、鏈?zhǔn)綗�結(jié)爐、隧道爐、LED專用合金爐、LED專用交換爐、高精度智能溫度控制儀和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐爐體， 同時承接各種微電子生產(chǎn)線及進(jìn)口半導(dǎo)體專用設(shè)備的翻新改造工作。...