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    RPS AX7695 MKS 遠程等離子源
    發布者:深圳長欣自動化設備有限公司  發布時間:2024-03-22 11:20:06  訪問次數:64

      RPS AX7695 MKS 遠程等離子源

      型號:RPS AX7695

      品牌:MKS

      制造商:MKS

      系列:控制電源

      產品描述

      RPS AX7695 MKS遠程等離子源

      產品品名:MKS RPS AX7695遠程等離子源

      系列:RPS系列

      作用:產生高密度、均勻的等離子體,用于材料改性、表面處理、薄膜沉積等多種應用。

      用途:

      半導體制造:晶圓清洗、刻蝕、沉積等

      光伏制造:玻璃清洗、鍍膜等

      顯示器制造:蝕刻、沉積等

      其他:生物醫學、航空航天、汽車制造等

      特征:

      高密度、均勻的等離子體

      可控的等離子體參數

      穩定的運行

      易于維護

      產品說明:

      MKS RPS AX7695遠程等離子源是一款高性能、高可靠性的遠程等離子源,采用先進的射頻(RF)技術和微波技術制造而成。它具有高密度、均勻的等離子體、可控的等離子體參數、穩定的運行、易于維護等特點,可廣泛應用于半導體制造、光伏制造、顯示器制造等多種領域。

      產品描述:

      MKS RPS AX7695遠程等離子源由電源、匹配網絡、等離子體腔體等組成。電源產生高頻或微波能量,通過匹配網絡傳輸到等離子體腔體。在等離子體腔體內,電磁場將氣體激發成等離子體。等離子體通過等離子體出口射向目標表面,進行材料改性、表面處理、薄膜沉積等操作。

      產品參數:

      型號:RPS AX7695

      頻率:13.56 MHz

      功率:2 kW

      等離子體密度:>10^12 cm^-3

      等離子體均勻性:<5%

      產品規格:

      尺寸:600 mm x 400 mm x 300 mm

      重量:20 kg

      應用領域:

      MKS RPS AX7695遠程等離子源廣泛應用于以下領域:

      半導體制造:晶圓清洗、刻蝕、沉積等

      光伏制造:玻璃清洗、鍍膜等

      顯示器制造:蝕刻、沉積等

      其他:生物醫學、航空航天、汽車制造等

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