TSM-120氣體質量流量計 TSM-120氣體質量流量計 TSM-120氣體質量流量計
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MKP質量流量控制器應用非常廣泛，主要體現在以下幾個方面：
1.半導體制造
在半導體生產過程中，需要對氣體流量進行嚴格控制，以確保產品的質量和穩定性。布魯克斯質量流量控制器可以在各種工藝步驟中實現高精度的氣體流量控制，包括沉積、刻蝕、清洗等。其在線自動校準功能可以消除溫度和壓力變化對測量的影響，從而提高了制造過程的控制精度和穩定性。
2.醫療器械
在醫療設備中，需要使用氣體流量控制來實現吸入氧氣、麻醉劑等治療和監護任務。BROOKS流量控制器能夠提供高精度的氣體流量控制，確保給藥量的準確性和一致性。此外，布魯克斯質量流量控制器還可以進行在線自動校準，消除溫度和濕度變化對測量的影響，從而提高了醫療設備的安全性和可靠性。
特點：
實時確認流量和動作的狀態；
響應速度快和高準確度；
對外部影響的穩定性強化 ；
可用在使用環境惡劣的大型船舶 (高溫, 震動, 鹽分, 噪音等)
TSM-D200流量控制器
TSM-D210，TSM-D220，TSM-D230，TSM-D240，TSM-D245，TSM-D250，TSM-D260
性能參數：
流量控制范圍： 2 ~ 100% of Full Scal
準確度： ≤± 2.0% of Full Scale
響應速度： ≤ 3.0 sec
控制閥門: Normally Closed / Normally open
輸出入信號: 模擬型：0 ~ 5VDC 或 4 ~ 20mA
電源: +15VDC ~ +24VDC
操作溫度: 5 ~ 50℃ (推薦溫度范圍：15 ~ 35℃)
預熱時間: 15分鐘 (準確度保證：30分鐘)
| 產品配置 | |
|---|---|
| 流量范圍(N2 標準) | 5ccm~1.5slm |
| 流量控制范圍 | 滿量程的2 ~ 100% |
| 準確度 | 滿量程的≤ ± 1% |
| 回應時間 | ≤ 1 sec |
| 線性 | 滿量程的≤ ± 0.2% |
| 運轉原理 | 熱式 |
| 控制閥形式 | - |
| 密封種類 | Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.) |
| 輸入輸出信號 | 模擬性: 0 ~ 5VDC or 4 ~ 20mA / 數字型: RS-485 (D-NET 可能) |
| 電源供應 | +15VDC or +24VDC |
| 運轉溫度 | 5 ~ 50℃ (建議溫度范圍: 15 ~ 35℃) |
| 連接器 | D-SUB 9P MALE (D-NET Connector 可能) |
| 防爆 | 無相關內容 |
| 顯示器 | 應用(Option) |
| 重量 | 0.7kg |
Sccm、slm是顯示標準氣體流量(mL/min，L/min，at 0'C101.3kPa)的符號。
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