TORAY東麗 氧氣濃度計 半導體、液晶、電子零部件相關應用
氧氣濃度計MS-500
| 測量原理 | 氧化鋯濃淡電池 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 分離式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式，傳感器:直插式) | ||
| 顯示方式 | 數(shù)字4位表示(濃度表示) | ||
| 測量微波爐 |
0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~ 10-0atm 自動微波爐 |
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| 反復性 |
±0.5%FS以內(nèi)0-1%范圍以上 大于±1%FS或±0.1ppm，小于0-1%范圍 0-1ppm,atm微波爐不在濃度保證范圍內(nèi) |
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| 測定分數(shù) | 1 ~ 8 | ||
| 氣體采樣條件 | 壓力 | 10- 3~ 200kpa(絕對壓) | |
| 流量 | 0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測定) | ||
| 濕度 | 露點低于周圍溫度 | ||
| 溫度 | 0 ~ 100℃ | ||
| 其他 | 不含腐蝕性氣體(氟類氣體、氯類氣體、硫化類氣體等)、含有機硅的氣體、可燃成分(也包括氣體)、油分、水分 | ||
| 比較氣體 | 大氣 | ||
| 記錄計輸出 | 只有傳輸輸出 | ||
| 傳輸輸出 | rs-232c | ||
| 警報輸出 | 沒有 | ||
| 熱身時間 | 六分鐘以內(nèi) | ||
| 尺寸 | MS-500控制器 | 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず) | |
| MS-510(変換機) | 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず) | ||
| 傳感器單元 | sd16nw | 全長100 mm(センシング部Φ11×39,軀體部Φ40×51歲) | |
| sd25nw | 全長100 mm(センシング部Φ11×42,軀體部Φ40×48歲) | ||
| sd40nw | 全長100 mm(センシング部Φ11×41,軀體部Φ40×49歲) | ||
| 質(zhì)量 | MS-500控制器 | 約0.6公斤 | |
| MS-510(変換器) | 約0.5 kg | ||
| 傳感器單元 | sd16nw | 約0.2公斤 | |
| sd25nw | 約0.2公斤 | ||
| sd40nw | 約0.35公斤 | ||
| 外部連接 | 真空法蘭(NW16,25,40)中的一種 | ||
| 使用電源 | 24 vdc±10% | ||
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