供臭氧發生器的氣源可以是空氣，也可以是純氧氣。
氧氣型通常是由氧氣瓶或制氧機供應氧氣。空氣型通常是使用空氣（如壓縮空氣）作為原料。由于臭氧是靠氧氣來產生的，而空氣中氧氣的含量只有21%，所以空氣型發生器產生的臭氧濃度比較低，同時還會衍生氮化物。而瓶裝或制氧機的氧氣純度都在90％以上，所以氧氣型發生器的臭氧濃度較高。在環境消毒時，通常使用空氣型發生器。在水處理時，應優先考慮氧氣型發生器。但如果消毒飲用水時，發生器需要配合舊式臭氧混合塔使用，則只能選用空氣型。
(1）空氣型 供應空氣的氣源裝置設備一般應包括空壓機、儲氣罐、氣體過濾設備、氣體除濕干燥設備以及消聲設備。空壓機是供氣的動力設備，用以滿足供氣氣量和氣壓的要求，一般要求采用無油潤滑型；儲氣罐用于平衡供氣氣壓和氣量；氣體過濾設備用于去除空氣中的顆粒和雜質；氣體濕干燥設備用于去除空氣中的水分，以低供氣露點；消聲設備用于降低氣源裝置在高壓供氣時所產生的噪聲。
(2）氧氣型 目前國內外水廠臭氧凈水設施中以氧氣為氣源的均通過設置現場液氧儲罐或制氧機這兩種形式的氣源裝置來為臭氧發生裝置供氧氣。液氧儲罐供氧裝置一般應包括液氧儲罐、蒸發器、添加氮氣或空氣的設備以及液氧儲罐壓力和罐內液氧儲存量的顯示及報警設備等。商購液氧純度較高（99％以上）,而提供給臭氧發生器的氧氣濃度應在90%~95%，且要求含有少量的氮氣，因此需要采用氮氣儲罐或空壓機，并配有相應的氣體混配器。
制氧機供氧裝置一般應包括制氧設備、供氣狀況的檢測報警設備、備用液氧儲罐、蒸發器以及備液氧儲罐壓力和罐內液氧儲存量的顯示及報警設備等。一般制氧機所制取的氧氣純度在90%~95%，其中含有少量的氮氣。采用制氧機供氧時，需配備備用的液氧儲罐及其蒸發器，以保證故障維修與設備停運保養期間不間斷。液氧儲罐的最少儲存量不應少于兩天。此時可不考慮用加氮氣或空氣的設備，以降低設備投資和化設備系統。