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臭氧發生器，按照氣體原料劃分，有氧氣源和空氣源兩種，氧氣型通常是由氧氣瓶或者制氧機供應氧氣。空氣型通常使用空氣（如壓縮空氣）作為原料。由于臭氧是靠氧氣產生的，而空氣中的氧氣含量只有21%，所有空氣型臭氧產生的臭氧濃度比較低，同時還會產生衍生氮化物，而瓶裝或者制氧機的氧氣純度都有90%以上，所以氧氣型發生器的臭氧濃度高。在空氣消毒時，通常使用空氣型發生器，在水處理時，應優先考慮氧氣型臭氧發生器。