韓國line tech氣體質量流量控制器M2030VA
韓國line tech氣體質量流量控制器M2030VA
產品負責人 吳工： 132.4667,5433
簡介：
韓國linetech氣體質量流量控制器耐壓90bar，可測量腐蝕性氣體，結構緊湊，重復性高，響應時間快，性價比高，可廣泛用于設備配套。韓國LINETECH經濟型氣體質量流量控制器Z大流量可測到300SLPM，質量流量計的Z大流量可測到1000SLPM。
一、linetech氣體質量流量控制器產品特點
二、linetech氣體質量流量控制器技術參數
|
型號 |
質量流量計 |
質量流量控制器 |
|
流量范圍(N2) |
10SCCM~1000SLPM |
10SCCM ~ 300slpm |
|
響應時間 |
<2 sec |
<2 sec |
|
精準度 |
≤±1% FS |
≤±1% FS |
|
重復精度 |
±0.25% FS |
±0.25% FS |
|
輸入/輸出信號 |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
0~5 Vdc OR 4~20 mA |
|
供電電源 |
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
|
耐壓 |
<90bar |
0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar |
|
工作環境溫度 |
0~50 °C |
0~50 °C |
|
漏率 |
1*10E-9 atm cc/sec |
1*10E-9 atm cc/sec |
|
使用范圍 |
2 ~ 100% |
2~ 100% |
三、linetech氣體質量流量控制器接口尺寸
產品型號：
M3030VA,M3100VA,M3200VA,MS3150VA,MS3400VA,MS3500VA,MS3600VA,MS3700VA,MS3800VA
數字流量控制器
MD100C,MD30C,MD400C,MD500C,MD600C,MD700C,MD800C
流量計
M2030VA,M2100VA,M2200VA,MS2150VA,MS2400VA,MS2500VA,MS2600VA,MS2700VA,MS2800VA
數字流量計
MD30M,MD100M,MD400M,MD500M,MD600M,MD700M,MD800M
防爆流量控制器
EX1000C
EX070C
儀表
LTI-200
LTI-1000