Edwards STP451/STPL451C愛德華磁懸浮分子泵進(jìn)氣法蘭口ISO160K,出氣法蘭口KF40,抽速可達(dá)到450l/s,轉(zhuǎn)速為48000 rpm,極限壓力:1X10-7PA,對應(yīng)的控制器為: Edwards SCU-451, Edwards SCU-301。
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