ULVAC UTM3400A渦輪分子泵，采用磁浮軸承控制器一體型渦輪分子泵。通過泵的本體和控制器一體化，實現(xiàn)了省配線，省空間。
特點
泵體和控制器一體化
泵體和控制器之間不需要復雜的布線工作。
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設(shè)備設(shè)計的自由度。
產(chǎn)品陣容涵蓋排氣速度1000 L / s至4000 L / s。
廣域大流量設(shè)計，適用于輕工藝
泵速可以在25％至100％的范圍內(nèi)變化，腔室的壓力可以調(diào)節(jié)。
高耐久性和安全性
已經(jīng)通過各種安全確認測試，例如空氣沖擊測試和觸地測試。