廣州潽拓光電維修Alcatel ATH1300M法國(guó)阿爾卡特磁懸浮分子泵,Alcatel ATH1300MT阿爾卡特分子泵進(jìn)氣法蘭口DN160ISO-K/DN160CF,出氣法蘭口DN40 ISO-KF,抽速可達(dá)到920 L/s,極限壓力6.10-6 mTorr/8.10-9 mbar,轉(zhuǎn)速為15000-34000rpm,adixen ATH1300MT磁懸浮分子泵對(duì)應(yīng)的控制器為:Alcatel ACT 1300M。
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