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Pfeiffer普發SplitFlow 290分渦輪子泵故障維修-無法啟動

發布者：廣州潽拓光電科技有限公司發布時間：2023-08-28 16:04:26 訪問次數：84

SplitFlow系列的渦輪分子泵主要用途:可以用一臺泵同時對質譜系統的兩個或三個腔體進行抽氣。渦輪轉子都用單一塊鋁合金整體加工而成，重量小化，分子泵可以在360度范圍內以任意角度工作而無需任何調整。

SplitFlow 渦輪分子泵的抽速范圍一般在690 l/s 到 10 l/s。

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