特點(diǎn)：Turbo-V 1K-G 不僅是一臺(tái)泵。該裝置是專門為薄膜沉積設(shè)備精心設(shè)計(jì)的專用分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過優(yōu)化，可以在高流速的氬氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中工作。另外，可通過遠(yuǎn)程機(jī)架控制器或泵機(jī)一體式控制器來驅(qū)動(dòng)泵。所有這些特點(diǎn)使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)出色的解決方案。
