Pfeiffer普發(fā) HiPace 2300 特性：
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認(rèn)證
防護(hù)等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求
運(yùn)行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的最zui運(yùn)行安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°