廣州潽拓光電維修Shimadzu TMP-3203LM島津磁懸浮分子泵，日本島津TMP-3203LM/TMP-3203LMC磁懸浮渦輪分子泵采用五軸控制磁性軸承系統，無需使用油潤滑，在運轉過程當中，無任何摩擦，是真正做到完全無油、免維護、全方位安裝的渦輪分子泵，Shimadzu TMP-3203LM/TMP-3203LMC分子泵進氣法蘭口ISO320-F ，出氣法蘭口KF40，抽速可達到3200 L/s，轉速為21000 rpm， 極限壓力1 x 10-9 Torr(1.3 x 10-9mbar)，島津TMP-3203LMC磁懸浮分子泵對應的控制器為：Shimadzu EI-3203MD，，Shimadzu EI-R04M等。