ULVAC UTM3400A渦輪分子泵
采用磁浮軸承控制器一體型渦輪分子泵。通過泵的本體和控制器一體化，實現了省配線，省空間。
特點：
泵體和控制器一體化泵體和控制器之間不需要復雜的布線工作。
安裝方向自由安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
產品陣容涵蓋排氣速度1000 L / s至4000 L / s。
廣域大流量設計，適用于輕工藝泵速可以在25％至100％的范圍內變化，腔室的壓力可以調節。
高耐久性和安全性已經通過各種安全確認測試，例如空氣沖擊測試和觸地測試。