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測量要領(lǐng)

型號

規(guī)格

摘要

軟物質(zhì)

010 2508

10 μmR,

90° 圓錐金剛石,

0.75 mN

全姿勢

可進行橫向跟蹤

左述規(guī)格為安裝在

E-DT-S02A?B上時

孔深槽?O形圈槽底面

010 2525

10 μmR,

90° 圓錐金剛石,

8 mN

朝下測量

靈敏度1/2

倍率×20000

波形失真大

超深槽

010 2526

10 μmR,

90° 圓錐金剛石,

8 mN

朝下測量

靈敏度1/2

倍率×5000

波形失真大

孔底面

010 2541

5 μmR,

90° 圓錐金剛石,

8 mN

倍率×5000

波形失真大

使用專用連接桿

高倍率測量用

010 2506

1 μmR,

60° 圓錐金剛石,

0.75 mN

全姿勢

可進行橫向跟蹤

左述規(guī)格為安裝在

E-DT-S04A?B上時

高倍率輪廓形狀

010 2528

1 μmR,

60° 圓錐金剛石,

8 mN

朝下測量

靈敏度1/2

倍率×10000

E-DT-S01A?B, -S03A?B用  

測量要領(lǐng)

型號

規(guī)格

摘要

段差

010 2504

250 μmR,

60° 圓錐藍寶石,

8 mN

全姿勢

波紋度

010 2505

φ1.6, 紅寶石,

4 mN

全姿勢

極細孔形狀

010 2510

φ0.5, 工具鋼,

4 mN

全姿勢

倍率×5000

E-DT-S03A?B/-SS01A?B/

-SE19A?B/-SSE01A除外

細長孔波紋度

010 2520

 φ1.6, 紅寶石,

5 mN

朝下測量

靈敏度1/2

倍率×10000

大段差

010 2523

250 μmR,

藍寶石,

5 mN

朝下測量

靈敏度1/2

倍率×25000