廣州潽拓光電科技有限公司提供Edwards愛德華STPA1603C 設(shè)備泵保養(yǎng),EdwardsSTP-A1603磁懸浮分子泵維修，Seiko Seiki STP-A1603C日本精工精機磁懸浮分子泵進氣法蘭口ISO200F，出氣法蘭口KF40，抽速可達到1600L/s，轉(zhuǎn)速為36500rpm，極限壓力10-10Pa(10-9Torr)，日本精工精機STPA1603C磁懸浮分子泵保養(yǎng)對應(yīng)的控制器為：Seiko Seiki SCU-1600。
