有閥壓電泵在精細(xì)化工、MEMS、生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域具有重大應(yīng)用前景。精密諧波減速機(jī)SHD-20-50-2SH 為了克服有閥壓電泵結(jié)構(gòu)復(fù)雜、跟從與截止性差、成本高等缺點(diǎn)，設(shè)計(jì)一種異形擬懸臂梁結(jié)構(gòu)的螺旋線形彈性固支閥，其螺旋臂長是簡單懸臂梁閥的數(shù)倍，工作時(shí)開啟度大，且因其螺旋線形彈性結(jié)構(gòu)，閥體不僅可以上下回位，左右也具有對(duì)中功能，精密諧波減速機(jī)SHD-20-50-2SH 并把這種閥安裝在有閥壓電泵的泵腔內(nèi)形成螺旋線形閥壓電泵。
在深入分析有閥壓電泵優(yōu)缺點(diǎn)的基礎(chǔ)上分析螺旋線形閥壓電泵的工作原理，依照泵內(nèi)部能量傳遞的路徑建立壓電驅(qū)動(dòng)(電壓、頻率)為輸入與泵流動(dòng)(流量、壓差)為輸出之間的關(guān)系式，加工試驗(yàn)樣機(jī)，并進(jìn)行性能測(cè)試試驗(yàn)，精密諧波減速機(jī)SHD-20-50-2SH 螺旋線形閥壓電泵具有泵功能，證明了其有效性和理論分析的正確性。