霧滴與塵粒徑相近時，更易于相撞而捕捉住塵粒。微米級干霧正是應用這一原理產生5μm以下，與超細的粉塵粒徑相近的霧滴來有效捕獲粉塵的。而由于霧滴微細，部分霧滴會在空氣中迅速蒸發，使局部空間中的相對濕度迅速飽和，飽和后的水汽會以塵粒為核凝聚，使塵粒直徑不斷增大，直至落下。
干霧除塵的優勢：
（1）抑塵效率高，針對10μm以下的可吸入粉塵治理效果達到95%以上；
（2）水霧顆粒細膩，對物料濕度增重比為0.02%～0.05%，基本可忽略不計；
（3）抑塵點形成濃密的霧池，對物料(煤)無熱值損失；
（4）耗水量小、無二次污染；
（5）極大降低粉塵爆炸幾率，可減少消防設施投入；
（6）大噴孔和低水壓消除了噴孔磨損并可以防止水質惡化，延長了霧化噴嘴的使用壽命。