耐磨焊條加工工件的表面質量,證明了耐磨焊條的可行性,具有良好的應用前景。耐磨焊條是一種多功能材料,在許多領域有著廣泛的運用:在微電子材料及器件生產中,熱處理是氮化硅薄膜在這些實際應用時都經過的一道工序,可以給薄膜帶來許多有益的影響。
應用激光加熱輔助銑削技術加工復雜形狀零件,為耐磨焊條技術的應用開拓新的方向。基于激光加熱輔助銑削溫度場分布與加工的特點,探討了激光加熱輔助銑削連續軌跡的可行性,提出了實現耐磨焊條的方案,建立了激光加熱輔助銑削連續軌跡系統,找到了適合加工系統的NC代碼轉換方法。
通過溫度場分析,優選了激光加熱輔助銑削連續軌跡的工藝參數,最終在氮化硅陶瓷工件上加工出連續直線與曲線溝槽,并在系統綜述氮化硅薄膜的性質、應用及多種制備方法的基礎上,應用PECVD系統。