冷鏡式露點儀不同水份含量氣體在不同溫度下鏡面上會結露。采用光電，出露層并測量結露時溫度，直接顯示露點。鏡面制冷有：半導體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。冷鏡式露點儀采用是直接測量，在保證檢露準確、鏡面制冷率和精密測量結露溫度前提下，該種露點儀可作為露點儀。上精度±01℃露點溫度，如歐伯特S8000，S4000、OptidewVision、Optidew等，精度可±05℃以內。
進展綜合隨著科學，人們紛紛把光電、新材料、紅外、微波、微電子、光纖、聲波甚至到氣體中水份測量，使水份測量這一古老煥發出青春在測量上，人員鏡面結露是直接且精度。鏡面露點儀在上將引進近代成份。如們研制冷鏡式激光露點儀首次采用激光準直和CCD，在露層判別、露霜像識別上走到前沿。人員在傳統傳感器材料（如氧化鋁材料、氯化鋰材料、高分子材料和材料）基礎上，用完全不同手段，陸續出許多間接測量氣體中微量水份方式，不同和不同環境中微水份測量。氣體中微量水份測量歷來是較難一門。說，直到上還沒有成熟完善手段能工況環境下微量水測量。在近代之后，也只能說針對某一特定環境，采用某一項手段，某種程度（包括和精度）微水份測量。
在藥，電子，卷煙，紡織，軍工等許多受控環境下，大量采用相對濕度傳感器對環境濕度進行監測。受環境因素影響，以傳感器本身材料特性所決定，電容式相對濕度傳感器都存在漂移危險，這使得某些關鍵工藝環節濕度不是受控。冷鏡是基本濕度測量，對露點進行直接測量。冷鏡式露點儀是精度高，響應快，反應敏捷，重復性，做到‘零’漂移；通過冷鏡式露點儀參與環境控制，有十足信心確保關鍵環節濕度盡在掌握之中。