性是氣體傳感器關(guān)鍵。如SnO2薄膜對多種氣體都敏感,提高SnO2氣敏器件性和靈敏度重點。措施有:在基體材料中加入不同貴金屬或金屬氧化物催化劑,設置合適溫度,利濾設備或透氣膜外過濾敏感氣體。
還有采用絲網(wǎng)印刷工藝制成厚膜器件和混合膜器件,這類器件具有集成度高,容易,方便,便于批量生產(chǎn)。
同體電解質(zhì)在高溫下才會有明顯導電性。氧化鋯ZrO2是典型氣體傳感器材料。純正氧化鋯在常溫下是單斜晶,當溫度升到1000℃左右時就會發(fā)生同質(zhì)異晶轉(zhuǎn)變,由單斜晶變?yōu)槎嗑В殡S體積收縮和吸熱反應,因此是。在ZrO2中摻入穩(wěn)定劑如:堿土氧化鈣CaO或稀土氧化釔Y2O3,使其成為穩(wěn)定熒石立方晶體,穩(wěn)定程度與穩(wěn)定劑濃度有關(guān)。
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