可知SnO2、ZnO、Fe2O3、Cr2O3、MgO、NiO2等材料具有氣敏效果. 由這些金屬氧化物制成的氣敏膜是阻抗元件，在氣體分子和敏感膜之間交換離子，發生還原反應，引起敏感膜電阻的變化。 作為傳感器，這種反應必須是可逆的，即為了去除氣體分子，必須發生一次氧化反應。 傳感器內的加熱器有助于氧化反應進程。
也有選用油墨印刷加工工藝做成的厚膜元器件和混和膜元器件，這種元器件具備處理速度高，拼裝非常容易，方便使用，有利于大批量生產的優勢。電阻器型氣體傳感器的一種典型性構造，它關鍵南SnO2敏感元件、電加熱器、電級導線、基座及不銹鋼網罩構成。這類控制器構造簡易，方便使用，能夠 檢驗氧化性汽體、易燃性汽體、蒸汽等。
氣敏二極管的特性曲線可以看作二極管電壓的變化，如果場效應管的閘門出現，場效應管的閾值電壓會發生變化。鈀與二氧化硅的界面，最終導致MOSFET的閾值電壓UT發生變化。使用時常將柵漏短接，可以保證MOSFET工作在飽和區，此時的漏極電流ID=β(UGS—UT)2，利用這一電路可以測出氫氣的濃度。