柱塞泵由多個機械部件構成，并與產品接觸，如密封件、柱塞、泵體和閥門（如需）等，這些部件無疑需要組裝、以及使用前的清洗和滅菌。而由于目前一次性包材技術已發展成熟，蠕動泵如果配合一次性拋棄包材（緩沖袋、軟管、灌裝針）使用，可無需使用前進行清洗、滅菌，避免了任何因灌裝回路所帶來的交叉污染，同時降低了清潔驗證的工作量。即使柱塞泵配備SIP/CIP功能，其時間和能耗所帶來的經濟影響也需要加以考慮。
蠕動泵泵頭有兩個滾軸組，每組有多根滾軸roller；兩根軟管tube分別經過一組滾軸，構成一個通道channel；然后兩個通道以Y形交匯在一起，兩個通道的擠壓脈沖疊加起來進行互相抵消。之后，通過精準控制的電機，將“無”脈沖的藥液加注至西林瓶，市場上，針對1ml以上灌裝量，一些品牌的蠕動泵已經可以達到+/-0.5%的灌裝精度，而且配合罐裝機的在線稱重反饋系統，可以保證灌裝的穩定性，在灌裝精度方面與柱塞泵并沒有明顯區別。
蠕動泵主要由驅動器、軟管1、裝在轉子3上的滾輪2和外殼組成。在這些構件中，軟管1用橡膠或塑料等彈性材料制成，其余則為金屬剛性件。蠕動泵的動作柔和，適用于不耐剪切的流體。這種泵的結構簡單可靠，也是泵送中等流量、中等壓力的磨損性、易損及腐蝕性流體的理想選擇。由于只有軟管與流體接觸，所以它們的維護也很簡單。蠕動泵的工作原理是利用了一根軟質的彈性體管承受變形并恢復到最初形狀的能力。蠕動泵就像用手指夾擠一根充滿流體的軟管，隨著手指向前滑動管內流體向前移動。蠕動泵也是這個原理只是由滾輪取代了手指。通過對泵的彈性輸送軟管交替進行擠壓和釋放來泵送流體。就像用兩根手指夾擠軟管一樣，隨著手指的移動，管內形成負壓，液體隨之流動。