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多功能性及緊湊型增強的低成本檢測

繼續(xù)了PD系列的高效性，因其緊湊的設計，PR-PD5具有優(yōu)秀的成本經(jīng)濟性表現(xiàn)，同時該型號也可以集成于Reticle Stocker/Stepper和清洗機等設備中

非常低的維護及操作成本由于應用了高經(jīng)濟性的He-Ne激光和簡化了的檢測進給單元與平臺單元，維護和操作成本得以降低

免于誤檢的有效功能PR-PD5具有針對粗糙表面的Pattern的極化區(qū)分功能，以及對應良好表面的Pattern的低通區(qū)分功能。這兩種方式可有效避免在OPC等pattern下的誤檢。

差異化應用的多功能性對應在Pattern面上的顆粒物，檢測精度可達到0.5μm，PR-PD5不僅可檢測Reticle和Mask上的顆粒物，同時也能以高輸出率檢測在Glass和Pellicle面上的顆粒物。

尖端，復合功能性的軟件使用Horiba本社的復合功能軟件，集合了Pattern Masking，外來顆粒物標識和數(shù)據(jù)庫管理等功能

• 自動協(xié)同補償功能

   

• 3個光電射極傳感器可檢測Reticle邊緣

   

• 自動校正Reticle在輸入系統(tǒng)上的位置偏離

   

• 顯示的結果是基于比較自Reticle邊緣的坐標

   

• Reticle倒置構造

   

• 可選擇0.5 至 50 μm

   

• 單檢測系統(tǒng)

   

• 內(nèi)建和混合的型式

   

• 應用數(shù)據(jù)管理功能的多種類報告的輸de