日本堀場HORIBA 晶圓背面冷卻系統 GR-300系列GR-312F
對那些被靜電卡盤系統固定位置的硅片，GR-300系列產品可以控制對硅片背面進行冷卻的氣體流量。適合使用氦氣的冷卻系統和使用氬氣的氣體控制硅片覆蓋。
另外可選擇配置的質量流量傳感器也可以用來監測氣體流量。
質量流量傳感器 （可選配）
可以配置各種類型的接頭
符合RoHS的環保要求
規格
模型
gr-312f
閥型
正常關閉
泄漏完整性
5×10-12pa?立方米/秒
主壓
250kpa（一）
抗壓力
300kpa（一）
操作溫度
5°C～50°C
（推薦溫度范圍：15～40°C）
電源
5% 150ma±+15
- 15V±5% 150ma
數字接口
RS485慧錦
氣
他，氬，N2
標準配件
1 / 4inch VCR或等效
壓力滿刻度
13.33kpa（一）（100torr）
壓力控制范圍
1～100%
壓力精度
±0.5% F.S.
壓力輸出信號
0～10vdc
流滿刻度
20、50、100sccm
流量精度* 2
1%±R.S.（流量> 25% F.S.）
±0.25% F.S.（流量≦25% F.S.）
流量輸出信號
0～5vdc
安裝方向
自由