日本堀場HORIBA 質量流量控制器SEC-2000系列SEC-E440J
可以在高溫環境中使用的SEC-8000/2000系列,適用于超潔凈的氣體供給,以及在分析ppt級別下的超微量氣體的場合,在半導體、化合物半導體制程之外也有各種各樣的用途。
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