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自從德國MANNESMANN的Rexroth公司的Indramat分部
在1978年漢諾威貿易博覽會上正式推出MAC永磁交流伺服電動機和驅動系統，
這標志著此種新一代交流伺服技術已進入實用化階段。
到20世紀80年代中后期，各公司都已有完整的系列產品。
整個伺服裝置市場都轉向了交流系統。
早期的模擬系統在諸如零漂、抗干擾、可靠性、精度和柔性等方面存在不足，
尚不能完全滿足運動控制的要求，
近年來隨著微處理器、新型數字信號處理器（DSP）的應用，
出現了數字控制系統，控制部分可完全由軟件進行，
分別稱為摪朧只瘮或摶旌鮮綌、撊只瘮的永磁交流伺服系統。
到目前為止，高性能的電伺服系統大多采用永磁同步型交流伺服電動機，
控制驅動器多采用快速、準確定位的全數字位置伺服系統。
典型生產廠家如德國西門子、美國科爾摩根和日本松下及安川等公司。
日本安川電機制作所推出的小型交流伺服電動機和驅動器，
其中D系列適用于數控機床（.高轉速為1000r/min，力矩為0.25～2.8N.m），
R系列適用于機器人（.高轉速為3000r/min，力矩為0.016～0.16N.m）。
之后又推出M、F、S、H、C、G 六個系列。
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